真空泵是指利用机械、物理、化学或物理化学的方法对被抽容器进行抽气而获得真空的器件或设备。通俗来讲,真空泵是用各种方法在某一封闭空间中改善、产生和维持真空的装置。

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【真空泵的分支】分子真空泵

真空泵的分支
  分子真空泵是在1911年由德国人盖德(w·Gaede)首先发明的,并阐述了分子泵的抽气理论,使机械真空泵在抽气机理上有了新的突破。分子泵的抽气机理与容积式机械泵靠泵腔容积变化进行抽气的机理不同,分子泵是在分子流区域内靠高速运动的刚体表面传递给气体分子以动量,使气体分子在刚体表面的运动方向上产生定向流动,从而达到抽气的目的。通常把用高速运动的刚体表面携带气体分子,并使其按一定方向运动的现象称为分子牵引现象。因此,人们将盖德发明的分子泵称为牵引分子泵。
 
  虽然分子泵是一种机械泵,但它已经摆脱了那种靠容积变化来抽气的容积泵原理,而是靠高速运动的刚体表面来携带气体分子实现抽气的一种新型机械真空泵。通常把高速刚体表面携带气体分子按一定方向运动的现象成为分子牵引,或称为气体的外摩擦输运现象。因此,人们把盖得发明的分子泵称为牵引分子泵。这种泵具有启动时间短,抽重气体比抽轻气体快等一系列优点。但由于它的密封间隙小,容易引起机械故障以及加工精度要求高等,除特殊需要外,实际上很少应用,曾有些人做过不少改进,出现过几种不同类型的牵引分子泵,但因为抽速低没有推广应用,曾一度被结构简单的扩散泵所代替。
 
  分子泵是利用高速旋转的转子把动量传输给气体分子,使之获得定向速度,从而被压缩、被驱向排气口后为前级抽走的一种真空泵牵引分子泵气体分子与高速运动的转子相碰撞而获得动量,被驱送到泵的出口。
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