真空泵是指利用机械、物理、化学或物理化学的方法对被抽容器进行抽气而获得真空的器件或设备。通俗来讲,真空泵是用各种方法在某一封闭空间中改善、产生和维持真空的装置。

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【钛升华泵】有什么功能

钛升华泵
  钛升华泵是靠新鲜钛膜的化学吸附作用抽气的真空泵。这种泵具有结构简单、抽速大、无油污染、抗辐射和无振动噪声等特点,启动压力为1~10-2帕,工作压力范围为10-2~10-8帕,是获得无油超高真空的重要真空泵。钛升华泵在电子器件、高能加速器、可控热核反应装置和空间模拟装置,以及表面物理试验等方面都得到广泛的应用。
 
  对钛升华器的要求是:能提供所需要的钛升华率;钛升华率易于调节,可连续或间断地供应吸气剂;钛升华器本身出气少或易于去气;要有足够的工作寿命,即要有足够的钛储存量。对于不同口径、不同工作压力的泵,要求的升华率和吸气剂储量差别很大,可以从每小时几十克甚至到几百克的升华率,上千克的储存量。因此很难设计一种升华器满足这样宽的要求。通?煞治蜕实暮透呱实牧街稚。
 
  低升华率的升华器大多在小型系统中,用以帮助溅射离子泵启动,或者提供较大的活性气体抽速,通常把升华率每小时几十毫克,吸气剂储量为几克到几十克的升华器,称为小功率升华器。对这种升华器的主要要求是工作可靠,操作方便,结构简单。高升华率的升华器通常用于做主泵的系统中。要求升华率在每小时几克到几十克,特殊的也有每小时几百克的。为保证工作寿命,储钛量要求尽可能的多。
 
  钛升华泵(Ti升华泵)的抽气机理是化学吸附。升华器升华的钛沉积在冷的泵体壁面上,形成新鲜的钛膜,对氮、氧和一氧化碳等活性气体有比较强烈的吸附作用(见表),并形成氮化钛、碳化钛和氧化钛等稳定的化合物,但对惰性气体和甲烷几乎不吸附。钛膜吸附气体只能是单分子层的,在已吸附气体分子的位置上不能再吸附气体。因此,钛升华器必须不断地升华,使泵体壁面上不断地沉积新的钛膜,才能达到连续抽气的目的。钛升华泵为了克服钛升华泵吸附惰性气体差的缺点,通常把它与溅射离子泵(见吸气剂离子泵)配合使用或组合成复合钛泵,这样就可发挥各自的长处。钛升华泵的抽气速率大,离子泵能抽惰性气体和甲烷,可获得更低的极限压力。如先用能抽惰性气体氩和活性气体的分子筛吸附泵作为预真空泵,用这3种泵组成机组,抽气时无油污染、无振动噪声,是获得无油超高真空的重要方法。

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