真空泵是指利用机械、物理、化学或物理化学的方法对被抽容器进行抽气而获得真空的器件或设备。通俗来讲,真空泵是用各种方法在某一封闭空间中改善、产生和维持真空的装置。

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【真空漏率】正规的方法进行测试

真空漏率
  真空漏率测量的办法是以示漏物质夜盖被橙容器的整个可疑区(或者被检容器内充人示漏物质),另一侧抽真空(或是大气);或是在被检容器的内外两侧形成压差(或示漏物质的浓度差),在低压(或低浓度)侧侧2示漏物质的漏率
 
  和浓度变化。
 
  (1)加压条件下容器漏率的测定
 
  在加压条件下测童容器漏率的方法有:气泡法、超声法、气敏半导体检漏仪法、氨检漏法、卤素检漏仪法、氮质谱检漏仪法等。
 
  (2)真空条件下容器漏率的测定
 
 、倮媒尤苏婵杖萜鞯恼婵展、离子泵及残气分析质谱计来测定容器的漏率。
 
 、诳梢匝∮昧髋璨饬、压力测量、卤素检漏仪以及氮质谱检漏仪等方法来测全漏率。
 
  (3)密封件的无损检漏
 
 、倬×坷妹芊饧峡捎美粗甘久芊馄骷诓垦沽褪韭┪镏史盅沽Φ墓婀芎筒衅治鲋势准频冉屑炻。
 
 、谟行┰床皇遣饬垦沽Φ淖爸,如:电子管、显像管等,若改换馈电方式,将其电极接成电离规的方式,测全出管内离子流的变化,便可知管内压力的变化率。大批量生产这类器件时,可以通过校准的方法把离子流的变化率直接换算成漏率。
 
 、廴绻芊饧诓烤哂锌勺魑韭┑奈镏适,采用动态法或静态法对漏到外面的示漏物质进行检测,就可测出漏孔来。通常这类密封件内部的示漏气体的分压力要比采用背压法时的压力为高。因此,检漏灵敏度高,费用低。
 
 、鼙逞狗炻┦视糜诔膳⌒兔芊饧钡募炻;可以使用卤素检漏仪,氮质谱检漏仪,放射性同位素等检漏方法和仪器。

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